China Hi-Tech Service Bulletin

MIDAS-T-NP1 熱裂解器安裝指導說明

1，Midas-T-NP1 裂解器可以探測的氣體和 Sensor 類型

 

 Midas-T-NP1 裂解器對本體版本要求：軟件版本不低于 V1.10；不正確的 Sensor 類型和本體

軟件版本，不能啟動 NP1，將會報故障 F90。

2，Midas-T-NP1 裂解器安裝要求及典型問題

 過濾器：NF3 必須安裝氟利昂過濾器（1830-0027），其他氣體不能安裝氟利昂過濾器。 

所有氣體都強烈建議安裝灰塵過濾器（780248）。

 Midas-T-NP1 裂解器安裝完成后，用轉子氣體流量計在過濾器（如有）下端檢查流量，標準

為 500sccm；裂解器剛啟動時，通過網頁確認流經裂解器加熱元器件的流量（55-120sccm)；待

裂解器穩定運行時（320 ?C±25 ?C）,再次確認流經裂解器加熱元器件的流量（最佳值 75sccm,范

圍：55-120sccm，超出此范圍將報 F92），裂解器溫度和流量都在范圍之內，無故障出現，NP1

即可正常工作。

 典型問題：

 a. 轉子流量計沒有流量：檢查整個氣路的氣密性，重新安裝裂解器，注意進氣管是否自然垂

直，有無扭曲。

 b. 轉子流量計流量低：進行流量標定，如果標定不成功，檢查本體的泵能力，更換泵或本

體。

 c. 裂解器達到額定工作溫度時，本體或流經裂解器的流量不穩定，通過流量標定來調節穩

定。

3，Midas 探測器流量標定

 流量標定步驟：

a. 常按上下鍵后選擇進入 CAL 菜單；

b. 打勾進入選擇 Flow，打勾確認進入零點標定；

c. 成功后進入 500sccm 標定，根據外部流量計通過上下鍵調節實際流量到 500sccm；

d. 重復步驟 3 標定第二點（600/650sccm).

e. 完成流量標定后退出，進入監控模式。

 

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 圖一 流量標定步驟示意圖

 圖二 流量檢查示意圖

圖三 裂解器流量和溫度信息（一） 圖四 裂解器流量和溫度信息（二）

 

4, 流經裂解器流量調節

 流經裂解器加熱元器件的流量不在范圍之內(55-120sscm)：通過裂解器標簽下面的流量調節螺

絲來調節流經裂解器的流量（參考網頁上顯示的裂解器流量，本體默認 IP:169.254.60.47,工具

BULLETIN NUMBER: 2018-001 1/25/2018

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為 2.5mm 的內六角扳手）

 a, 確認 F92 是由流量原因引起的，網頁上裂解器流量不在 55-120sccm 范圍內，Midas 本體的

Event History 內 F92 的 Data 是 0x1000。

 b, 撕開 NP1 裂解器的標簽，發現如圖五的內六角螺絲，此螺絲即為裂解器流量調節螺絲。

 c, 打開 Midas 網頁，在裂解器達到穩定工作溫度時（320 ?C±25 ?C），觀察流經裂解器的流

量；如果裂解器的流量低（低于 55sccm）如圖六，順時針調節內六角螺絲增大流量，直到穩定

的流量達到 75-100sccm；如果裂解器的流量高（高于 120sccm）如圖七，逆時針調節內六角螺

絲減小流量，直到穩定的流量達到 75-100sccm 如圖八；然后復位 F92 故障。

 d, 如果裂解器溫度不能上升，直接按照步驟 c 順時針調節內六角螺絲增大流量，直到穩定的

流量達到 75-100sccm。

 e, 如果調節內六角螺絲不能使流經裂解器的流量在 55-120sccm 范圍內，請把 NP1 裂解器寄

給 Honeywell 檢查。