產品目錄
通過提高純度、安全性和性能來增強您的工藝作為為尖端制造工藝提供先進材料和材料處理解決方案的全球領導者,我們擁有實現工藝目標所需的廣泛產品、技術和專業知識。
特色白皮書
探索可能性:大規模設備材料加工的整體方法
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設備托盤用于保護和運輸裸芯片、CSP、光電電子和其他微電子器件的綜合 IC 封裝交付系統。
化學作為先進特種材料和輸送系統的供應商,我們擁有專業知識來配制和提供您所需的化學品,以實現您的工藝并實現您的性能目標。
流體管理系統我們提供完整的系統解決方案,用于構建從散裝化學品配送到使用點的完整、無泄漏、可靠的流體處理網絡。
氣體過濾與凈化從空氣或工藝氣流中去除不需要的氣體分子對于減少工藝污染至關重要。我們的過濾器和擴散器套件旨在保護房間和過程免受污染物的影響。
硬盤組件處理可靠的硬盤組件處理解決方案,可安全高效地運輸關鍵材料。
液體過濾與凈化我們能力的核心是先進的科學知識和制造技巧,可提供當今最好的液體過濾和凈化解決方案。
掩模版和掩模版處理正確處理重要的工藝技術對于工藝性能至關重要。我們的吊艙、包裝和系統提供頂級保護,防止損壞和污染。
其他基材處理我們的晶圓盒和晶圓盒旨在為您寶貴的基材提供終極保護,使其在日常運輸活動中免受損壞和污染。
特種材料適用于當今要求苛刻的高科技應用的優質石墨、碳化硅和涂層解決方案。
特種氣體我們是為各種制造工藝提供安全儲存和輸送劇毒氣體的領導者。
晶圓處理創新的晶圓運輸和加工解決方案為有價值的晶圓提供出色的保護。
氣體過濾與凈化
在空氣、散裝氣體或特種氣體的過濾和凈化方面,Entegris 擁有滿足您需求的專業知識、技術和解決方案。
無論是使用點還是散裝氣體輸送、在腔室中還是在晶圓上、在潔凈室中還是在工具上,Entegris 長期以來一直致力于提供高性能氣體和空氣凈化及過濾產品來滿足您的需求。
特色象形圖
隱藏在眾目睽睽之下:提高氣體純度和減少晶圓缺陷的預防性維護策略
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AMC 過濾器潔凈室、掃描儀和工藝工具化學空氣過濾器
氣體過濾器利用鎳、不銹鋼和 PTFE 膜技術控制氣體工藝中的污染
氣體擴散器快速排放到大氣中,無需向腔室中添加顆粒
氣體凈化器有多種材料可將氣體凈化至萬億分之一 (ppt) 的水平
PS14 常溫氣體凈化器
氣體凈化器戶外外殼
氣體過濾器
鎳、不銹鋼、Alloy-22 和 PTFE 過濾技術。Entegris 超純氣體過濾產品為超純氣體應用提供 0.0015 微米顆粒過濾。 Wafergard 氣體過濾器可提高工藝氣體吞吐量,同時減少氣體箱的總體占地面積。
特色內容
端到端氣體過濾解決方案
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其他氣體過濾器Wafergard
GN 氣體過濾槍是一種易于使用的輕型 POU(使用點)解決方案,用于控制氣體污染。該過濾器元件采用 Entegris 獨家設計,用于各種半導體工藝。
在線 PTFE 氣體過濾器我們的氣體過濾器提供卓越的顆粒過濾功能,最大限度地減少壓降并最大限度地延長過濾器的使用壽命。從 Wafergard
和 Linegard
在線氣體過濾器中進行選擇。
在線不銹鋼氣體過濾器Entegris 的在線不銹鋼氣體過濾器設計用于高壓和高溫應用。它們易于安裝,無需更改設計。
在線鎳氣過濾器Entegris 的超純鎳過濾器是適用于高壓、高溫應用的最清潔、最高效的氣體過濾產品。
表面貼裝氣體過濾器Wafergard 氣體過濾器配有不銹鋼或鎳過濾元件,可提供終極的過程保護、卓越的耐腐蝕性以及與惰性氣體、氫化物和活性氣體的出色兼容性。
表面安裝設計減少了燃氣面板上的空間,并減少了零件庫存和變化。我們的表面安裝氣體過濾器產品組合包括 C-Seal 1.125" 和 W-Seal 1.125" 或 1.5" 格式。
在線 PTFE 氣體過濾器
用于在低溫應用中去除超純顆粒的聚合物膜氣體過濾器
我們的氣體過濾器提供卓越的顆粒過濾功能,最大限度地減少壓降并最大限度地延長過濾器的使用壽命。從 Wafergard
和 Linegard
在線氣體過濾器中進行選擇。
氣體擴散器
快速排放到大氣中,無需向腔室中添加顆粒Entegris 氣體擴散器與大多數系統設計兼容,可輕松安裝或改裝到負載鎖定室、冷卻室、傳輸室和處理室中。
特色白皮書
污染物保齡球:氣體凈化的新科學
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Chambergard 氣體擴散器Chambergard 快速排氣擴散器可快速向大氣排氣,而不會干擾腔室中的晶圓或向腔室中的晶圓添加顆粒,
從而通過最大限度地縮短負載鎖定排氣循環時間來提高系統吞吐量。它們將擴散器的流動特性與高效過濾器相結合,以提高效率和吞吐量。
Wafergard
MAX HT 在線氣體過濾器
在高溫應用(高達 200°C)中提供卓越的顆粒過濾
行業
半導體
平板顯示器
數據存儲
引領
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Wafergard
MAX 在線 PTFE 氣體過濾器
這些在線 PTFE 氣體過濾器與高純氣體兼容,并在超純氣體應用以及一般氮氣和 CDA 應用中提供卓越的顆粒過濾能力
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Wafergard
MAX-1000 在線 PTFE 氣體過濾器
Wafergard
MAX-1000 在線 PTFE 氣體過濾器為超純氣體應用提供卓越的顆粒過濾能力
配件尺寸
1/2"
配件類型
墊圈密封(兼容 VCR
)
外螺紋入口/出口
壓縮密封(兼容 Swagelok
)
外螺紋入口/出口
長度
127.0 毫米(5.00 英寸)
118.7 毫米(4.67 英寸)
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Wafergard
GTL 在線氣體過濾器
Wafergard
GTL 在線氣體過濾器設計用于去除惰性氣體中的顆粒,流速高達 80 slpm
配件尺寸
56.6 psid) @ 20°C
添加比較
Linegard
MAX-FP 氣體過濾器
適用于中等流量范圍、非關鍵應用的經濟高效的 0.0015 µm 過濾器
EntegrisWG3D40DR2
Entegris WG3D40DR2
ENTEGRIS WGMXMPRR2
Entegris WGFG21KP0
ENTEGRIS WGPM0GGG2
ENTEGRIS WGFGT1PR1
ENTEGRIS WGMXMBSS2
ENTEGRIS LGMXFPSS3
ENTEGRIS WGMXMSRR4
Entegris WG2FT1RR2
ENTEGRIS WGFG01DS0
ENTEGRIS SVEG01P01
ENTEGRIS SVTG01TQ1
ENTEGRIS SVTG02TQ1
ENTEGRIS WGPM0GGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4
Entegris WG3NS6RR2
ENTEGRIS WGFGT1PR1
ENTEGRIS WGFGT1PR1
ENTEGRIS WGFGT1PR1
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS LGMXFPRR4
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WG3NS2RR4
Entegris WG2FT1SS2
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGT1PR1
Entegris WG2FT1RR2
entegris CTFG01TPE
ENTEGRIS WGPMOGGT4
ENTEGRIS WG2F02RR2
ENTEGRIS WG2F02RR2
Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2
ENTEGRIS WG3NS8RR2
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WG2F02RR2
ENTEGRIS WG2F02RR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1
ENTEGRIS WG3NS8RR2
ENTEGRIS CBUG0S0S1
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGMXMSRR4
ENTEGRIS WGMXMSRR2(無包裝)
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRISWGMXMSRR2
CN3HF2E06,CN3HF3E06,CN3HF4E06,CN3HM4E06,CN5001E06,CN5001ES1,CN5001EZ6,CN5001T06,CN5001V06,CN5002E06,CN5002ES1,CN5003E06,CN5003ES1,CN5003T06,CN5003V06,CN5051E06,CN5051T06,CN5071E06,CN5071S06,CN5071T06,CN5072E06,CN5072V06,CN5073E06,CN5073T06,CN5073V06,CN5074T06,CN5074V06,CN50F1E06,CN50F1ES1,CN50F2E06,CN50F3E06,CN50F3ES1,CN50F4E06,CN50M4E06,CN50M4S06,CN50M4T06,CN50M4V06,CN6HF4E06,CR0101006,CR0101E06,CR0101T06,CR0101V06,CR0102006,CR0102T06,CR0102V06,CR0103006,CR0103T06,CR0104006,CR0104V06,CR0151006,CR0152006,CR0153006,CR0153T06,CR0153V06,CR0154006,CR0154T06,CR0154V06,CR0171006,CR0171E06,CR0171T06,CR0172006,CR0172E06,CR0172T06,CR0173006,CR0173E06,CR0173T06,CR0174006,CR0174E06,CR01F1006,CR01F1P06,CR01F2006,CR01F2C06,CR01F2P06,CR01F3006,CR01F3P06,CR01F3V06,CR01F4006,CR01F4P06,CR01M0203,CR0301006,CR0301E06,CR0301T06,CR0302006,CR0303006,CR0351006,CR0354V06,CR0371006,CR0371E06,CR0372006,CR0372E06,CR0373006,CR0373T06,CR0374006,CR03F1006,CR03F1P06,CR03F2006,CR03F2P06,CR03F3006,CR03F3P06,CR03F4006,CR03F4P06,CR03M0203,CR0501006,CR0501E06,CR0501T06,CR0501V06,CR0502006,CR0503006,CR0503V06,CR0504006,CR0504E06,CR0552006,CR0553006,CR0554V06,CR0571006,CR0571E06,CR0571T06,CR0572006,CR0572T06,CR0573006,CR0573E06,CR0573T06,CR0574006,CR05F1006,CR05F1P06,CR05F2006,CR05F2P06,CR05F2V06,CR05F3006,CR05F3P06,CR05F4006,CR05F4P06,CR05M0203,
CR1001006,CR1001T06,CR1002006,CR1002T06,CR1002V06,CR1003006,CR1003V06,CR1004006,CR1053006,CR1054V06,CR1071006,CR1071E06,CR1071T06,CR1072006,CR1072T06,CR1072V06,CR1073006,CR1073T06,CR1073V06,CR1074006,CR10F1006,CR10F1P06,CR10F1T06,CR10F2006,CR10F2C06,CR10F2P06,CR10F3006,CR10F3P06,CR10F4006,CR10F4P06,CR10M0203,CR2501006,CR2501T06,CR2501V06,CR2502006,CR2503006,CR2553V06,CR2571006,CR2571T06,CR2572006,CR2572E06,CR2572T06,CR2573006,CR2573V06,CR2574006,CR25F1006,CR25F1P06,CR25F2006,CR25F2P06,CR25F3006,CR25F3P06,CR25F4006,CR25F4P06,CR25M0203,CR5001006,CR5001T06,CR5001V06,CR5002006,CR5003006,CR5071006,CR5072006,CR5073006,CR50F1006,CR50F2006,CR50F3006,CR50F4006,CR50M0203,CR7501006,CR7502006,CR7503006,CR7571006,CR7572006,CR7573006,CR75F1006,CR75F1P06,CR75F2006,CR75F3006,CR75F4006,CR75M0203,CR9901006,CR9902006,CR9903006,CR9951006,CR9971006,CR9971T06,CR9971V06,CR9972006,CR9973006,CR99F1006,CR99F2006,CR99F3006,CR99F3P06,CR99F4006,CR99M0203,CRA501006,CRA501T06,CRA501V06,CRA502006,CRA502T06,CRA503006,CRA503T06,CRA504006,CRA551006,CRA552006,CRA553006,CRA554V06,CRA571006,CRA572006,CRA573006,CRA573E06,CRA573T06,CRA573V06,CRA574006,CRA5F1006,CRA5F1C06,CRA5F1P06,CRA5F2006,CRA5F2C06,CRA5F2P06,CRA5F3006,CRA5F3P06,CRA5F4006,CRA5F4P06,CRA5M0203,CFDVUPXSF,CFDZUPXSF
,、
CPUV01P01,CPUV01PLT,CPUV0SP01,CPUZ01P01,CPUZ01PLT,CPUZ0SP01,CTDAATXTW,CTDGATXLH,CTDGATXST,CTDGATXTH,CTDGATXTT,CTDGATXTW,CTDVATXLH,CTDVATXST,CTDVATXTH,CTDVATXTT,CTDZATXLH,CTDZATXST,CTDZATXTH,CTDZATXTT,CTFA01P01,CTFA01PTF,CTFA01TPE,CTFA02P01,CTFA02TPE,CTFA0SP01,CTFA0SPSF,CTFA0STPE,CTFG01P01,CTFG01PSF,CTFG01PT1,CTFG01PTF,CTFG01TC1,CTFG01TK1,CTFG01TPE,CTFG02P01,CTFG02TPE,CTFG03TPE,CTFG0SP01,CTFG0SPSF,CTFG0SPTF,CTFG0STPE,CTFH01PTF,CTFH01TPE,CTFH02TPE,CTFH03TPE,CTFH0STPE,CTFV01P01,CTFV01PSF
,CTFV01PT1,CTFV01PTF,CTFV01TC1,CTFV01TK1,CTFV01TPE,CTFV02P01,CTFV02TPE,CTFV03TPE,CTFV0SP01,CTFV0SPSF,CTFV0SPTF,CTFV0STPE,CTFZ01P01,CTFZ01PT1,CTFZ01PTF,CTFZ01TC1,CTFZ01TK1,CTFZ01TPE,CTFZ02P01,CTFZ02TPE,CTFZ03TPE,CTFZ0SP01,CTFZ0SPTF,CTFZ0STPE,CTPR01TP1,EGDVHPX0F,EGDVHPX0S,EGDVHPX2F,EGDVHPX2S,EGDVHPXTH,EGDZHPX0F,EGDZHPX0S,EGDZHPX2F,EGDZHPX2S,EGDZHPXTH,EPFVHPSST,EPFVHPXTW,GDCG01P01,GDCG01TK1,GDCG01TPE,GDCG02P01,GDCG0SP01,GDCG0SPC1,GDCG0SPK1,GDCV01P01,GDCV01TK1,GDCV01TPE,GDCV02P01,GDCV0SP01,GDCV0SPC1,GDCV0SPK1,GDCZ01P01,GDCZ01TK1,GDCZ01TPE,GDCZ02P01,GDCZ0SP01,GDCZ0SPC1,GDCZ0SPK1,GDDGATSST,GDDGATSTH,GDDGATSTT,GDDGATX0F,GDDGATX1F,GDDGATX2F,GDDGATX4F,GDDGATXST,GDDGATXTH,GDDGATXTT,GDDGHPX0F,GDDGHPX0S,GDDGHPX2F,GDDGHPX2S,GDDVATSST,GDDVATSTH,GDDVATSTT,GDDVATX0F,GDDVATX1F,GDDVATX2F,GDDVATX4F,GDDVATXST,GDDVATXTH,GDDVATXTT,GDDVDEV0F,GDDVDEV1F,GDDVD GDDVDEV4F,GDDVHPX0F,GDDVHPX0S,GDDVHPX2F,GDDVHPX2S,GDDZATSST,GDDZATSTH,GDDZATSTT,GDDZATX0F,GDDZATX1F,GDDZATX2F,GDDZATX4F,GDDZATXST,GDDZATXTH,GDDZATXTT,GDDZDEV0F,GDDZDEV1F,GDDZ GDDZDEV4F,GDDZHPX0F,GDDZHPX1S,GDDZHPX2F,GDDZHPX2S,GHPG01P01,GHPG01PLT,GHPG02P01,GHPG02PLT,GHPG0SP01,GHPV01P01,GHPV01PLT,GHPV02P01,GHPV02PLT,GHPV0SP01,GHPZ01P01,GHPZ01PLT,GHPZ02P01,GHPZ02PLT,GHPZ0SP01,PFFG01P4F,PFFG01P4P,PFFG01P6P,PFFG03D4S,PFFV01P4F,PFFV01P4P,PFFV01P6P,PFFV03D4S,PFFZ01P4F,PFFZ01P4P,PFFZ01P6P,PFFZ03D4S,QCCGAT101,QCCGAT1C1,QCCGAT1K1,QCCGATX01,QCCGPF401,QCCGPF801,QCCGSTX01,QCCVAT101,QCCVAT1C1,QCCVAT1K1,QCCVATX01,QCCVATXC1,QCCVATXK1,QCCVPF401,QCCVPF4C1,QCCVPF4K1,QCCVPF801,QCCVPF8C1,QCCVPF8K1,QCCVSTX01,QCCVSTXC1,QCCVSTXK1,QCCZAT101,QCCZAT1K1,QCCZATX01,QCCZATXC1,QCCZATXK1,QCCZPF401,QCCZPF801,QCCZSTX01,QCDG15P3F,QCDG15P8P,QCDG30P2P,QCDG30P3F,QCDG30P8P,QCDGATX0F,QCDGATX1F,QCDGATX2F,QCDGATXLH,QCDGATXTF,QCDGATXTH,QCDGATXTW,QCDGPF40F,QCDGPF41F,QCDGPF42F,QCDGPF80F,QCDGPF81F,QCDGPF82F,QCDGPF8LH,QCDGPF8TH,QCDGSTX0F,QCDGSTX1F,QCDGSTX2F,QCDGSTXLH,QCDGSTXTF,QCDGSTXTH,QCDGSTXTW,QCDV15P3F,QCDV15P8P,QCDV30P2P,QCDV30P3F,QCDV30P8P,QCDVATX0F,QCDVATX1F,QCDVATX2F,QCDVATXLH,QCDVATXTF,QCDVATXTH,QCDVATXTW,QCDVPF40F,QCDVPF41F,QCDVPF42F,QCDVPF80F,QCDVPF81F,QCDVPF82F,QCDVPF8LH,QCDVPF8TH,QCDVSTX0F,QCDVSTX1F,QCDVSTX2F,QCDVSTXLH,QCDVSTXTF,QCDVSTXTH,QCDVSTXTW,QCDZ15P3F,QCDZ15P8P,QCDZ30P2P,QCDZ30P3F,QCDZ30P8P,QCDZATX0F,QCDZATX1F,QCDZATX2F,QCDZATXLH,QCDZATXTF,QCDZATXTH,QCDZATXTW,QCDZPF40F,QCDZPF41F,QCDZPF42F,QCDZPF80F,QCDZPF81F,QCDZPF82F,QCDZPF8LH,QCDZPF8TH,QCDZSTX0F,QCDZSTX1F,QCDZSTX2F,QCDZSTXLH,QCDZSTXTH,QCDZSTXTW,
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硬盤組件處理可靠的硬盤組件處理解決方案,可安全高效地運輸關鍵材料。
液體過濾與凈化我們能力的核心是先進的科學知識和制造技巧,可提供當今最好的液體過濾和凈化解決方案。
掩模版和掩模版處理正確處理重要的工藝技術對于工藝性能至關重要。我們的吊艙、包裝和系統提供頂級保護,防止損壞和污染。
其他基材處理我們的晶圓盒和晶圓盒旨在為您寶貴的基材提供終極保護,使其在日常運輸活動中免受損壞和污染。
特種材料適用于當今要求苛刻的高科技應用的優質石墨、碳化硅和涂層解決方案。
特種氣體我們是為各種制造工藝提供安全儲存和輸送劇毒氣體的領導者。
晶圓處理創新的晶圓運輸和加工解決方案為有價值的晶圓提供出色的保護。