GateKeeper®GPU氣體凈化器

GPUS2500FIX08R00CA，

GPUS2500FHX08R00CA，

 

純化器大量應用于電子半導體、芯片行業、微電子行業。

 

GateKeeper®GPU系列凈化器旨在提高工藝氣體的一致性，使用壽命和出口純度。

 

純度達到ppt級別

廣泛的氣體相容性，包括腐蝕性氣體，如Cl2, HBr, HCl, CF4, SO2, SF6

凈化器壓降低

通過CE壓力設備指令PED認證，并在ISO 9001-2000工廠生產

可再生-消除處理問題和成本

長壽命-提高擁有成本

使用環境溫度凈化

看門人®

GPU

HX Media氣體凈化器

高純度控制

設計了integris的GateKeeper®GPU氣體凈化器

提高純度的一致性，使用壽命和最終純度

高純度氣體至關重要的微電子應用。

利用我們在材料科學方面的專業知識，我們開發了

提供新一代HX氣體凈化產品

無與倫比的價值和性能。

應用程序

- - - - - -

•半導體

•數據存儲

•平板顯示

•領導

•太陽能

特點和優點

- - - - - -

工藝控制和保護純度控制在十億分之一(ppb)以下

低壓降通過凈化器

CE壓力設備指令(PED)認證

在ISO®9001:2015設施中生產

具有成本效益的可再生-消除處理問題和成本

長壽命-提高擁有成本

使用環境溫度凈化-無需加熱或電源

需要操作

對方向不敏感(水平/垂直)